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行業(yè)產(chǎn)品

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北京 有限公司


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硅片清洗甩干機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式:耿彪查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2017-12-13 05:49:20瀏覽次數(shù):433次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:17條

所在地區(qū):北京

聯(lián)系人:耿彪 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

一、主要用途

該產(chǎn)品主要用于硅圓片、掩膜板、太陽能電池等其它類似材料的高潔凈度沖洗甩干。具有單腔、雙腔兩種結(jié)構(gòu)(也可按用戶要求配置)

詳細(xì)介紹

一、主要用途

該產(chǎn)品主要用于硅圓片、掩膜板、太陽能電池等其它類似材料的高潔凈度沖洗甩干。具有單腔、雙腔兩種結(jié)構(gòu)(也可按用戶要求配置)

二、主要技術(shù)特點(diǎn)

1.采用高性能的可編程控制器實(shí)現(xiàn)邏輯控制。

2.采用彩色液晶漢顯監(jiān)控,可存儲(chǔ)十種用戶工藝菜單。

3.結(jié)構(gòu)采用凈化處理技術(shù)。

4.去離子水電阻率監(jiān)控。

5.防靜電控制。

6.氮?dú)鉁囟瓤刂啤?

7.腔體溫度控制。

8.轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊狻?

9.可選無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

10.旋轉(zhuǎn)載體定位。

11.故障自動(dòng)診斷,顯示及報(bào)警系統(tǒng)。

12.可按用戶特殊要求配制。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

1.zui大加工硅片尺寸:8"(片架連接按用戶要求配制)

2.工作腔數(shù)量:1?D2個(gè)(可選)

3.去離子水耗量:5L/min(單腔單片盒)

4.去離子水壓力:2.3?D2.8bar

5.氮?dú)夂牧浚?25L/min(單腔單片盒)

6.氮?dú)鈮毫Γ?.5?D3bar

 7.氮?dú)膺^濾精度≤0.005m

8.氮?dú)鉁囟瓤刂品秶?0℃

9.旋轉(zhuǎn)腔轉(zhuǎn)速:300?D2400rpm

10.電源:AC220V±AC220V*10%

11.外型:765*460*1800(雙腔單片盒)、730*460*1300(單腔單片盒)

12.重量:420kg(雙腔單片盒)、240kg(單腔單片盒)


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