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北京市卓川電子科技有限公司
產品簡介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研,教育,生產中應用。
主要特點:
*高精度多程序控制器:
可設定存儲7個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設置25步不同的速度狀態;
產品名稱: 真空旋轉涂層機
儀器型號: SM.7-ZC07
真空旋轉涂層機型號:SM.7-ZC07
產品簡介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研,教育,生產中應用。
主要特點:
*高精度多程序控制器:
可設定存儲7個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設置25步不同的速度狀態;
液晶顯示屏可以實時顯示:
1. 第N個涂敷工藝過程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態。
4. 設置時間;及實時運行時間。
5. 設置速度;及實時速度狀態。
中英文兩套操作系統供選擇。
*真空吸片系統更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,
必須在安全的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。
*變頻調速電機,轉速精度更高:
300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 %
zui高轉速10000轉/分
*不銹鋼機殼 NPP材質工作腔
不銹鋼機殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
NPP材質工作腔。
可以輕松拆下清洗??捎帽潦?/p>
NPP的化學穩定性優異,對大多數酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩定的。
技術參數:
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:150W
旋轉真空吸盤直徑:4英寸(102mm,標準配置)
可選擇配置: 基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉數:300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
標準包裝:
結構尺寸: 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 ,
可選配件 1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、70升/分無油真空泵
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