簡介 | - 技術參數
質量數測量范圍:1-100AMU/1-200AMU/1-300AMU 壓力范圍:從大氣壓直到高真空 zui小可檢分壓:法拉第筒 5*10-12Torr;電子倍增器5*10-14Torr 分辨率:0.5AMU(10%峰高) 發射電流:0.1-10mA;脫氣時50mA 電子能量:30-150V; 脫氣時200V 離子能量:1-10V 靈敏度:法拉第筒 2*10-14A/Torr,測量條件是N2 ,峰寬為0.5AMU,10%峰高,燈絲發射電流1mA 穩定性: 質量數:±0.1AMU(30分鐘預熱);峰高:±2%(30分鐘預熱)
- 主要特點
在線測量氣體組分 分析速度快,尤其與色譜等分析方法相比 四極桿參數自動優化,確保數據可靠,重復性好; 軟件有實時計算功能 軟件支持腳本功能,實現自動控制 軟件內置譜庫,幫助確認組分 軟件有演示模式,方便用戶熟悉軟件和編輯方法 多個模擬量/數字量輸入/輸出可選 各種質量分析器的電路控制單元可互換
- 儀器介紹
DYCOR質譜儀可以測量從高真空直至大氣壓很寬壓力范圍的氣體樣品.針對不同的研究,有多種離子源(開放式,流導限制式,封閉式)和多種進樣系統可選;質量數測量范圍(1-100AMU/1-200AMU/1-300AMU)也可根據需要選擇. 適用的應用領域有: 真空和超高真空殘余氣體分析(如分子束外延,離子注入) 真空系統檢漏 PVD/CVD/刻蝕/磁控濺射殘余氣體分析 催化研究 發酵尾氣
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