| 簡介 | 日本三豐粗糙度儀Formtaracer Extreme（超級表面粗糙度/輪廓測量裝置）
三豐表面粗糙度儀 CS-5000CNC / CS-H5000CNC
525系列粗糙度儀--CNC形狀測量儀
日本三豐粗糙度儀特點：
·三豐粗糙度儀高精度探針形CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。
·三豐粗糙度儀X1軸和Z2軸的zui大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件
測量的效率。
·三豐粗糙度儀X1軸和Z1軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實現高分辯率（X1軸分辨率：6.25nm,Z1軸分辨率：
4nm/8nm）的輪廓/形狀測量、表面粗糙度的測量和批次測量。
·三豐粗糙度儀Z1軸檢測器采用主動控制方式，減少了Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。
·三豐粗糙度儀Z1軸檢測器檢測集成了防碰撞安全裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可以自動
停止工作。
·三豐粗糙度儀帶有а軸的型號，可以通過電動旋轉×1軸連續測量水平面和傾斜面。
·三豐粗糙度儀帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
·三豐粗糙度儀提供易于操作的搖控箱，用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動。在按鍵上標有易于理
解的圖形顯示軸的選擇狀態。
·三豐粗糙度儀通過USB端口與數據處理/分析裝置（選件）進行信息交換。
性能參數
粗糙度儀型號 粗糙度儀CS-5000CNC CS-5000CNC粗糙度儀 CS-5000CNC粗糙度儀 CS-5000CNC粗糙度儀
貨號（100V-120V） 525-721-1粗糙度儀 525-722-1粗糙度 525-723-1粗糙度 525-724-1粗糙度
貨號（200V-240V） 525-721-2粗糙度儀 525-7221-2粗糙度 525-7231-2粗糙度 525-7241-2粗糙度
X1軸測量范圍 200mm粗糙度儀 200mm粗糙度 200mm粗糙度 200mm粗糙度
Z2軸垂直行程 300mm粗糙度儀 300mm粗糙度 300mm粗糙度 300mm粗糙度
Y軸工作臺裝置粗糙度 已安裝 已安裝
а軸裝置粗糙度 已安裝 已安裝
型號 CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
貨號（100V-120V） 525-741-1粗糙度 525-742-1 525-743-1 525-744-1
貨號（200V-240V） 525-741-2粗糙度 525-742-2 525-743-2 525-744-2
X1軸測量范圍 200mm粗糙度 200mm 200mm 200mm
Z2軸垂直行程 500mm粗糙度 500mm 500mm 500mm
Y軸工作臺裝置 已安裝 已安裝
а軸裝置 已安裝 已安裝
粗糙度儀型號 粗糙度儀CS-5000CNC 粗糙度儀CS-5000CNC
貨號（100V-120V） 525-761-1粗糙度儀 525-763-1
貨號（200V-240V） 525-761-2粗糙度儀 525-763-2
X1軸測量范圍 200mm粗糙度儀 200mm
Z2軸垂直行程 300mm粗糙度儀 300mm
Y軸工作臺裝置
а軸裝置 已安裝
粗糙度儀型號 粗糙度儀CS-5000 粗糙度儀CS-5000L
貨號（mm） 525-886* 525-905*
貨號（inch） 525-896* 525-915*
X1軸測量范圍/分辨率 200mm/6.25nm 200mm/6.25nm
Z1軸測量范圍/分辨率 標準探針 6mm/2mm 12mm/4mm
二倍長型探針 12mm/4mm 24mm/8mm
Z2軸垂直行程 250mm 250mm
X1軸直線度（L為驅動長度mm） 標準探針 （0.05+0.5L/1000）µm （0.05+0.5L/1000）µm
二倍長型探針 （0.1+0.5L/1000）µm （0.1+0.5L/1000）µm
指示精度（20°C）（L為驅 X1軸 ±（0.2+L/1000）µm ±（0.2+L/1000）µm
動長度mm,H為測量高度mm） Z1軸 ±（0.2+|H|/100）µm ±（0.3+|2H|/100）µm
*為區分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴（如：525-886A）:
A適于UL/CSA，D適于BS，DC適于中國，K適于EK， 無后綴適于JIS/100V
粗糙度儀技術參數：
X1軸
粗糙度儀測量范圍： 200mm
粗糙度儀分辨率： 0.00625µm
粗糙度儀測量方法： 激光全息光柵尺
粗糙度儀驅動速度: zui大40mm/s（CNC模式），0-40mm/s（操縱桿控制模式）
粗糙度儀測量速度： 0.02-0.2mm/s（表面粗糙度），0.02-2mm/s（形狀/輪廓）
粗糙度儀測量方向： 向前/向后
粗糙度儀直線度： （0.1+0.0015L）µm、使用標準探針，（0.2+0.0015L）µm、使用二倍長型探針
粗糙度儀直線度： （0.05+0.0003L）µm、使用標準探針，（0.2+0.0015L）µm、使用二倍長型探針
指示精度（20°C）： ±（0.3+0.002L）µm
指示精度（20°C）： ±（0.16+0.001L）µm（L為驅動長度mm）
Z1軸
粗糙度儀測量范圍： 12mm（標準探針）、24mm（二倍長型探針）
粗糙度儀分辨率： 0.004µm（標準探針）、0.008µm（二倍長型探針）
粗糙度儀探針上/下動作： 弧型運動
粗糙度儀測量方法： 激光全息光柵尺
粗糙度儀指示精度（20°C）： ±（0.3+|0.02H|）µm
粗糙度儀指示精度（20°C）： ±（0.07+|0.02H|）µm
粗糙度儀測力： 4mN（標準探針）、0.75mN（二倍長型探針）
粗糙度儀跟蹤角度： 向上60°、向下60°（取決于表面粗糙度）
粗糙度儀探針針尖： 半徑：5µm, 角度：40°、 （球型探針：半徑0.25µm, 藍寶石）
粗糙度儀探針方向： 向下
Z2軸（立柱）
粗糙度儀測量范圍： 300mm（500mm:高立柱型）
粗糙度儀分辨率： 0.05µm
粗糙度儀測量方法： 反射型光柵尺
粗糙度儀驅動速度: zui大200mm/s（CNC模式），0-50mm/s（操縱桿控制模式）
粗糙度儀基座尺寸（W×D）： 750×600mm
粗糙度儀基座材料： 花崗巖
尺寸（W×D×H）： 800×620×1000mm （高立柱型：800×620×1200mm）
粗糙度儀重量： 240kg（ 高立柱型：250kg）
*CS-H5000CNC
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