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北京市卓川電子科技有限公司
多弧離子鍍膜機該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質或裝飾涂層。
該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質或裝飾涂層。
◆ 真空室:鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm;箱式、前開門結構;
◆ 抽氣系統:機械泵:前級泵70L/S;維持泵:2X-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150;
擴散泵:KT-500;分子泵: FF250/1600(選配)
◆ 極限真空:5×10-4Pa;
◆ 恢復真空:5×10-3 Pa(小于20min);
◆ 鍍膜系統:電弧蒸發源或柱弧源
◆ 輔助鍍膜系統:脈沖偏壓電源,條形離子源(選配);
◆ 膜厚測量系統:石英晶體膜厚監控系統(選配);
◆ 進氣系統:自動壓強控制+多路質量流量控制系統;
◆ 操作方式:手動按鍵式;
控制型系統配置:研華工控機,80G硬盤,512內存+日本三菱PLC;10 英寸液晶顯示觸摸屏界面;(選配)
◆ 旋轉夾具:公轉/自轉夾具,速度從 0~15r/min 無級可調;
◆ 工件烘烤:室溫~300℃;
◆ 供電電源: 三相380V,50Hz。
◆ 特殊規格可定制。
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