箱式電子束蒸發鍍膜機

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產品型號WD.54-ZZS

品牌

廠商性質生產商

所在地北京市

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更新時間：2016-02-29 15:49:40瀏覽次數：388次

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北京市卓川電子科技有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：9024條

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產品簡介

箱式電子束蒸發鍍膜機該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發鍍膜設備，該鍍膜機功能強、鍍膜質量穩定、重復性好、操作簡便。適用于制備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。

詳細介紹

該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發鍍膜設備，該鍍膜機功能強、鍍膜質量穩定、重復性好、操作簡便。適用于制備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。
    鍍膜機的真空室材料均采用優良材質SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規范、精致，具有高真空度、高清潔度，可以保證材料的成膜純度。
    采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯機械泵機組，具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。配備270OE型電子束蒸發源，電源穩定，控制精度高，帶有高壓自動滅弧復位裝置，操做簡便，性能可靠。
    適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。
◆ 鍍膜室體積：500mmX500mmX600mm；
◆ 極限真空度：6.7X10-5 Pa，恢復真空：從大氣抽至6.7X0-4 Pa （40分鐘）；
◆ 真空抽氣系統：機械泵與分子泵組成；
◆ 真空測量系統：數顯復合真空計；
◆ 蒸發源：電子束蒸發源：E型電子槍，功率0～6KW可調；電阻蒸發源：功率3kW/10V兩組；
◆ 工件烘烤溫度：室溫～350℃可控可調（PID控溫）；
◆ 選配件：光學膜厚測量儀、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等；
◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。
◆ 特殊規格可定制。