電子產品制造防靜電系統測試辦法 SJ/T 10694 - 1996 中華人民共和國電子行業標準
一、范圍
本標準規定了電子產品制造過程中防靜電系統的測試方法。
本標準適用于電子設備、元器件等產品制造過程中防靜電系統（包括：地面、墻壁、工作臺、工作椅、工位器具、物流傳遞器具、包裝袋、防靜電腕帶、離子風機、人員、服裝等）的測試。
二、引用標準
下列標準所包含的要文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。在標準出版時，所示版本為有效。所有標準都會被子修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準版本的可能性。
GB2828-87逐批檢查計數抽樣程序及抽樣表（適用于連續批的檢查）
SJ/T10533-1994電子設備制造防靜電技術要求
SJ/T10630-1995電子元器件制造防靜電技術要求
三、定義
本標準采用以下定義
3.1系統接地電阻 resistance of grouvding system
在防靜電接地系統中，接地電阻的總和。對地限流電阻規定為1MΩ
3.2測試點 test point
測試時，所選定放置測試電極（或表筆）的部位
四、一般要求
4.1 測試依據
按SJ/T 10533及SJ/T 10630
4.2 測試條件
全部測試均在生產場地內進行,環境溫度20~25℃，相對濕度40%-60%。
4.3測試儀器
測試儀器包括:非接觸式靜電電壓表、地電阻測量儀、500VDC兆歐表、萬用表、腕帶測試儀、人體綜合電阻測試儀、離子風機測試裝置等。
所使用的儀器精度不低于2.5級,均應在計量檢定有效期內。允許使用符合測試要求的類似儀表
4.4測試技術指標
| 測試技術指標 |
| 項目 | 表面電阻值Ω | 休積電阻值Ω | 電阻值Ω | 摩擦電壓V |
| 防靜電地極接地電阻 | | | ＜10 | |
| 地面 | 105~1010 | | | ＜100 |
| 地面對地極母線電阻 | | | 5×104~109 | |
| 墻壁 | | | | ＜400 |
| 窗簾 | | | | ＜400 |
| 地墊 | 105~109 | 105~108 | | ＜100 |
| 工作臺墊 | 105~109 | 105~108 | | ＜100 |
| 工作臺面 | 106~109 | | | ＜100 |
| 工作臺面對腕帶插孔電阻 | | | 105~108 | |
| 工作臺面對地系統電阻 | | | 106~108 | |
| 工作椅面對腳輪的電阻 | | | 106~108 | |
| 椅面與靠背電阻 | | | 108~1010 | ＜100 |
| 工作服、工作帽、手套 | | | | ＜100 |
| 工作鞋底 | | | 0.5×105~108 | ＜100 |
| 工位器具及物流傳遞器具 | 103~108 | 103~107 | | ＜100 |
| 包裝盒（袋） | | | | ＜100 |
| 物流車臺面對車輪系統電阻 | | | 106~109 | |
| 腕帶連接電纜電阻 | | | ＜20K | |
| 佩戴腕帶時系統電阻 | | | 10M-10M | |
| 腕帶連接電纜電阻 | | | 1M | |
| 腳跟帶（鞋束）系統電阻 | | | 0.5×105~108 | |
| 人體綜合電阻 | | | 106~108 | |
五、摩擦起電電壓測試
5.1使用非接觸式靜電電壓表測量
5.2測試時手持干燥布料（選用純棉或防靜電面料）,以頻數約120次/min，手掌適當施加壓力，單向摩擦被測件某一部位20次，按靜電電壓表使用方法立即接近兩年摩擦部位，觀察儀表顯示數值。
反復測試5次取平均值。
5.3對生產場地防靜電設施進行摩擦起電電壓總體效果測試,包括:地面（地墊）、墻壁、窗簾、工作臺（臺墊）、工作椅、貨架、工位器具、物流傳遞器具、包裝袋（盒）、工作服（工作帽、手套）、工作鞋等。
六、電阻測試
6.1 防靜電地板
6.1.1使用接地電阻測量儀測試防靜電地極的接地電阻.
6.1.2測試步驟:A、將被測地極用導線接于儀器端子，B、在相同直線方向20M、40M潮濕土地處，分別插入電位探測針及電流探測針，各接于儀器端子。C、設置“倍率盤”倍數，D、自緩至快搖動儀器手柄，達到約120r/min，調整“測量標度盤”，指針指于零位，讀數乘以倍率標度，即為接地電阻值；E、按測試步驟C、D、反復測試3~5次，取平均值。
6.2 地面
6.2.1 劃分測試網格
6.2.2 隨機選定測試點
6.2.3按GB2828-87 中4.8規定的抽樣程序,將待測地面全部網格看做樣本大小（批量范圍）,以一般檢查水平Ⅱ,確定樣本大小字碼;再用“正常檢查一次抽樣方案”。
6.2.4以合格質量水平為6.5 ,決定抽樣本大小字碼,查表得出Ac、RC。測試地面表面電阻。
6.2.5以合格質量水平為6.5 ,決定抽樣本大小字碼,查表得出Ac、RC。測試地點對地極母線電阻。
6.3 地墊（工作臺墊）
6.3.1 測試表面電阻
6.3.2 測試體積電阻
6.4 工作臺
隨機選定測試點,每個工作臺不得少于3點
6.4.1 測試工作臺面表面電阻
6.4.2測試工作臺面對腕帶插孔電阻
6.4.3 測試工作臺面對地系統電阻
6.5 工作椅
隨機選定測試點,每把工作椅不得少于5點。
6.5.1 測試椅面對腳輪的電阻
6.5.2 測試椅面與靠背間電阻
6.6 工作鞋
測度鞋底體積電阻
6.7工位器具及物流傳遞補器具
測試容器表面電阻和體積電阻
6.8物流車
測試車臺面對車輪系統電阻
6.9腕帶
6.9.1 測試腕帶內表面對電纜扣電阻
6.9.2 測試連接電纜系統電阻
6.9.3 用腕帶測試儀測試佩戴腕帶時系統電阻
6.10 腳跟帶（鞋束）
測試腳跟帶系統電阻
6.11 人體綜合電阻
被檢測人員應穿工作服、工作鞋、測試人體綜合電阻。
七、其它測試
使用儀器測試離子風機的中和靜電性能。
