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四川英杰電氣有限公司
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英杰電氣中頻濺射電源憑借優異的波形調制技術，可實現輸出直流、直流脈沖、雙向方波、雙向梯型波等波形。產品具有輸出波形可調，輸出頻率可選，占空比可調，功率控制精準，以及低能量存儲和快速的電弧反應。為鍍膜工藝提供便利、精準的控制。產品主要應用于各種薄膜制造工藝，太陽能電池片行業，真空鍍膜行業；應用工藝：磁控濺射工藝、孿生靶濺射、管式PECVD。
● 機架式安裝方式
● 快速的電弧響應，響應時間＜100ns
● 低能量儲存，＜0.5mJ/kW
● 采用多相交錯PFC技術，功率因數高達0.95
● 輸出模式多樣，可實現連續、斷續模式可選擇
● 逆變回路采用全軟開關技術，采用第三代半導體SiC作功率器件，效率優異
| 輸入 | 輸入電壓：3AC380V、50/60Hz | 功率等級：20kW |
| 輸出路數：2路 |
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| 輸出 | 輸出電流：50A*2 | 輸出電壓：600V*2 |
| 技術指標 | 功率因數：0.95 | 轉換效率：94% 額定狀態下±0.5% |
| 調節精度：±0.5% | 電弧響應時間：<100ns | |
| 尺寸：4U | 通訊：標配RS485/RS232(可選配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT) | |
| 注：產品不斷創新，性能繼續提升，本參數說明僅供參考。 | ||
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