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深圳市中圖儀器科技有限公司
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SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速（5~10分鐘）、高精度（0.05ppm）、抗*力強、*穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系
一.性能特點
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析
3 軟件界面友好
使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。
二.產品用途
1.自動螺距誤差補償。激光干涉儀不僅能自動測量機器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機和數控系統實現通信，對誤差進行自動補償。它比通常的手工補償方法節省了大量的時間，同時可zui大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到更好的精度。
2.回轉坐標精度標定。回轉坐標分度精度標定可對數控轉臺在任意角度位置，以任意測量間隔進行自動測量及補償。
3.機床動態特性測試與評估。利用中圖動態特征測量與評估軟件，可用干涉儀進行杌床振動測試與分析、滾珠絲杠的動態特性分析、伺服驅動系統的響應特性分析、導軌的動態特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對機器源進行分析。
4.觸發脈沖輸入、輸出功能。利用觸發脈沖輸入，可實現外部控制激光干涉儀記錄數據，從而可實現類似于激光絲杠動態精度檢查儀的功能或機床傳動鏈精度檢查功能。利用觸發脈沖輸出，可用定時或定距發出脈沖，從而實現類似于激光光刻機的功能。
5.其他用戶接口裝置。可用中圖公司提供的特殊接口軟件，對于現有某些品牌的電子水平儀或數字指示儀器的用戶，配合中圖校準軟件，實現直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測，從而節省用戶投資費用。
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