SF6回收充氣裝置裝置的主要功能件有壓縮機、真空泵、干燥過濾再生器、凈化器、過濾器、管道、閥門、儀表、電氣控制以及結構件，框架面板、走輪等。 
一、裝置主要部件配置參數如下： 
1、SF6壓縮機：封閉耐氟壓縮機 
a：理論排氣量：12m³/h
b：排氣壓力：4.5Mpa 
c： 最小吸氣壓力：53Kpa
d：吸氣壓力：0.35~0.8 Mpa
e：功率：0.75KW
f：電源：380V 50HZ 
2、抽真空系統采用旋片式真空泵 
3、a：真空泵采用風冷式可長期運行 
b：抽真空速率12-20 m³/h
c：極限真空度0.06pa
4、過濾系統（凈化系統：采用濾芯，過濾器雙級過濾，真空活化自再生處理） 
5、SF6閥門：3-365R01 SF6專用 
6、壓力表、真空表： Y-100 ，熱偶真空計 
二、 SF6回收充氣裝置裝置的配套范圍： 
1、裝置1臺 
2、真空計1臺（裝于主機） 
3、高壓管2根