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上海洪柯自動化儀表有限公司
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上海洪柯自動化儀表有限公司推出的D系列氣體質量流量計（Mass flow meter，簡稱MFM）/氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）用于測量/控制微小流量氣體流量。
上海洪柯自動化儀表有限公司推出的D系列氣體質量流量計（Mass flow meter，簡稱MFM）/氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）用于測量/控制微小流量氣體流量。微流量氣體流量計/控制器zui小量程為0-2SCCM(標準毫升每分鐘)，zui大量程為0-2000SLM(標準升每分鐘)，具有精度高、重復性好、量程寬、穩定可靠等特點，在半導體集成電路、特種材料、石化、醫藥、真空等領域,廣泛用于鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體采樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器，也可以用在各類實驗室作為流量檢驗的標準流量計
氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC工作原理
氣體質量流量計MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構成，用于測量潔凈氣體流量。
氣體質量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個部件外，還有一個流量調節閥及PID控制電路，它不但可以測量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過質量流量控制器（質量流量計）時，大部分氣體通過分流器，小部分氣體流過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理直接測量氣體的質量流量，并將流量傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器進行線性化處理，輸出與瞬時流量成正比的電壓信號0-5VDC。放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅動控制閥門，PID閉環控制，使流過通道的氣體流量與設定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，氣體質量流量計（氣體質量流量控制器）能精確測量（控制）氣體流量。
因為氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC測得的是氣體的質量流量而不是體積流量，其質量流量單位通常表示為SCCM（標準毫升每分鐘）或SLM（標準升每分鐘）。
標準狀態是指壓力為一個大氣壓（101.325KPa）、溫度為0度。因為在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數，所以標準狀態下的體積流量等同于質量流量。
因此，在選擇氣體質量流量計或氣體質量流量控制器時，需要確認流量范圍是不是該標準狀態下的標況體積流量（也就是質量流量）。如果是工況流量，需用下列公式換算為標況體積流量。
在不考慮壓縮因子的情況下，氣體標況流量與工況流量的換算公式為：
Q標況＝Q工況*〔(P表壓+0.1)/0.1〕*〔273.15/(273.15+T工況)〕
防腐型氣體質量流量計MFM、防腐型氣體質量流量控制器MFC采用特殊的密封材料，可用于測量干燥lv氣、二氧化硫、氯甲烷等腐蝕性氣體。
氣體質量流量計/氣體質量流量控制器注意事項
1、氣體質量流量計/氣體質量流量控制器在出廠前均根究用戶要求調整好，用戶不得隨意自行調整。
2、使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時，須在氣路中加裝過濾器等。如果氣體質量流量計/氣體質量流量控制器出口接有液體源瓶，應在氣體質量流量計/氣體質量流量控制器出口安裝單向閥，防止液體回流損壞氣體質量流量計/氣體質量流量控制器。
3、氣體質量流量計/氣體質量流量控制器通道采用的材料為：SUS316L不銹鋼,聚四氟乙烯，氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。
4、氣體質量流量計/氣體質量流量控制器安裝時要好保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位安裝時若發現零點偏移，可調整零點后再工作。如果用戶訂貨時注明安裝位置，我公司也可根據用戶的安裝位置進行標定后出廠。
5、對于氣體質量流量控制器要注意工作壓差，應注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內。工作壓差不在規定的范圍內，流量將無法關閉或調小。在使用大流量的質量流量控制器時，要注意適當加粗管道和減小氣源內阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達不到滿量程值。
6、氣體質量流量控制器電磁調節閥并不能當做氣路截止閥使用，一般情況下用戶應在控制器進氣口前安裝電磁（手動）截止閥。（有必要時在氣體質量流量控制器前后都應加裝）
7、氣體質量流量控制器在閥控操作為“清洗”后不能直接轉為“閥控”狀態，應先切換至“關閉”狀態。
D500系列氣體質量流量計/氣體質量流量控制器參數表(可定做分體式耐高溫100℃的氣體質量流量計/控制器)
D500系列氣體質量流量計/氣體質量流量控制器由氣體質量流量傳感器（氣體質量流量控制器還包括電磁調節閥）、信號線電源線、氣體質量流量顯示儀（氣體質量流量顯示控制儀）等構成。
D600系列數字式一體型氣體質量流量計/氣體質量流量控制器參數表
D600系列一體型氣體質量流量計/氣體質量流量控制器是我公司推出的數字化流量計產品。它采用單電源供電(6~16VDC或24VDC)，一體化液晶顯示瞬時流量、累積流量，對于氣體質量流量控制器，更是集成了電磁調節閥，可以直接在液晶面板上設定控制瞬時流量，也可以直接連電腦顯示控制；數字，模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高精度等特點。
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