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產品介紹
PS-7新宇宙XPS-7Ⅱ毒氣/半導體材料氣體探測儀【 186馬6019科6936】檢測對象毒氣/半導體材料氣體檢測范圍根據規格而定檢測原理定電位電解式檢測方式自動吸引式應用行業石油化工、半導體制造產品描述:半導體材料氣體檢測01.產品特點● 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體● 用盒式傳感器單元進行氣體檢測器校正● 可以大幅度削減成本和維護時間02.新宇宙XPS-7Ⅱ毒氣/半導體材料氣體探測儀用途● 半導體工廠/石油化學工廠等● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
氣體 | XDS-7NH | 100ppm |
SiH4 | XDS-7DC | 25ppm |
AsH3 | XDS-7PH | 1ppm |
B2H6 | XDS-7SE | 250ppb |
GeH4 | XDS-7CL | 5ppm |
ClF3 | XDS-7HC | 25ppm |
HF | XDS-7HB | 10ppm |
NO | XDS-7HS | 50ppm |
CO | XDS-7DS | 25ppm |
F2 | XDS-7OZ | 1ppm |
SO2 | XDS-7ND | 10ppm |
NF3 | <span "="" style="border: 0px;">100ppm |
新宇宙XPS-7Ⅱ半導體材料氣體檢測器參數
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