MLase AG 高功率準分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000
自TuiLaser AG的前成員于2007年12月創立MLase以來,我們致力于開發和生產創新的高質量激光和光系統,這是由高度專業化的專家團隊積累多年經驗的結果。MLase AG考慮到新的技術方面,為客戶提供高質量的產品。MLase AG的質量管理通過了EN ISO 13485:2016認證。
MLase AG 高功率準分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000
品牌背景:
MLase股份公司
自TuiLaser AG的前成員于2007年12月創立MLase以來,我們致力于開發和生產創新的高質量激光和光系統,這是由高度專業化的專家團隊積累多年經驗的結果。MLase AG考慮到新的技術方面,為客戶提供高質量的產品。MLase AG的質量管理通過了EN ISO 13485:2016認證。
MLI 系列準分子激光器特點:
1.MLI 系列設備為工業應用提供具有直接波長的準分子激光器。具有市場上長的正常運行時間和可靠性以及低的運營成本。由于均勻的光束輪廓和能量穩定性,適用于要求苛刻的應用。
2.MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的重復頻率。
3.當然,如果需要,標準設置的激光器可以根據個人需求進行調整。如:準分子激光器可用的波長為 193 nm(氣體:ArF 氟化氬)和 248 nm(氣體:KrF 氟化氪)。可根據要求提供其他波長如157nm等,也可以提供如高功率版本HP


MLI 系列準分子激光器型號:
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLase AG高功率 MLI-HP-KrF 500 / 1000規格參數:
主要功能
•堅固緊湊
設計:
•高可靠性,易于集成
•電暈預電離•均勻光束輪廓
•固態電路•立即可用,無老化
•卡套管技術•卡套管全金屬密封
•數十億脈沖的延長壽命
•能量監測器•能量穩定
•RoHS、CE、CDRH
順從的
•滿足主要政府法規
•空氣冷卻管
•水冷管*
•占空比10%(1000Hz)循環時間大30分鐘
•占空比20%(500Hz)循環時間大30分鐘
•占空比100%24/7
重量/設施/尺寸
重量應用程序。80千克
冷卻空氣
冷卻水*
電氣230V,50/60Hz,大2300W。
尺寸(長x寬x高)560 x 355 x 445mm
參數KrF:
波長(nm)248
大重復頻率(Hz)500/1000
穩定脈沖能量(mJ)14
大脈沖能量(mJ)20
光束尺寸(FWHM,V x H mm)6x3
光束發散度(FWHM,V x H mrad)2x1
MLase AG 高功率準分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000