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蘇州中科科美科技有限公司
分子束外延技術廣泛應用于薄膜材料外延生長、納米尺度器件制造等領域。有機分子束外延(Molecular Beam Epitaxy)是一種物理沉積單晶薄膜的方法,能夠精確控制外延薄膜的厚度、成分,實現亞單原子層精度的生長。
應用領域
分子束外延技術廣泛應用于薄膜材料外延生長、納米尺度器件制造等領域。
有機分子束外延(Molecular Beam Epitaxy)是一種物理沉積單晶薄膜的方法,能夠精確控制外延薄膜的厚度、成分,實現亞單原子層精度的生長。
技術參數
1.極限真空壓力: 10-7Pa
2.樣品加熱溫度:150℃
3.束源爐溫控精度:±1%
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