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柜谷科技發展（上海）有限公司
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經濟型、通過等離子化氣體的活性作用對處理對象表面進行改質、清洗
特點
● 經濟型等離子清洗機。
● 簡單的等離子處理操作。
● 無需高頻使用申請。
值得期待的應用案例
<清洗>
● 有機膜的去除（油，蠟等有機膜）。
● 電子零件，光學零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細菌的消毒等（通過氧自由基進行細胞膜的蝕刻或通過紫外線進行消毒）。
<表面改質>
● 高分子材料表面的官能基付與→ 粘合性，密著性提高。通過氧化反應，在表 面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）；
● 電子零件，光學零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細菌的消毒等（通過氧自由基進行細胞膜的蝕刻或通過紫外線進行消毒）。 同樣，氮氣等離子時，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各種聚合物的粘結性以及提高醫科齒科材料的生物相容性等。
● 通過處理培養皿可以在其上均勻涂抹培養基等。
<蝕刻>
● 有機高分子材料的蝕刻。對于有機高分子氧氣成為蝕刻氣體，可以進行抗蝕劑的蝕刻。
● 促進種子發芽等實驗。
規格
| 型號 | PM100 |
| 等離子發生源 | 低頻高電壓電源，輸出約100W，周波數60KHz、輸出電壓10kV |
| 電機構造 | 電容型 2分割 |
| 氣體流量計 | 氧氣用、流量30～300mL/min |
| 真空調整閥門 | 抽真空用，回大氣用 |
| 反應腔尺寸 | 內徑100mm×深度約200mm |
| 外形尺寸（寬×深×高mm） | 310×300×448 |
| 電源 50/60Hz | AC100V 10A（含真空泵Max7A） |
| 真空泵接口 | 外徑Φ6.35mm（推薦真空泵排氣速度30L/min） |
| 氣體接口 | 外徑Φ6.35m |
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