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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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產品介紹基片的清洗和預處理OLED對ITO的要求表面潔凈；表面平整；功函數較高
基片的清洗和預處理
OLED對ITO的要求
表面潔凈；表面平整；功函數較高。
有機層與ITO之間界面對發光性能的影響至關重要，ITO玻璃在使用前必須仔細清洗，目的是除去表面上物理
附著的污物和化學附著的有機物等。
ITO表面處理工藝
ITO的不均勻性將導致有機層不均勻，從而易形成局部強電場引起OLED中黑斑的產生。平整的ITO表面場強均勻，
減小短路的危險，提高OLED的穩定性。
在沉積有機層之前，ITO表面必須進行仔細的清洗，否則不能得到穩定的OLED器件。
ITO 基片處理 ITO For OLED
ITO膜表面形態對OLED器件的性能
粗糙的ITO膜表面將使光線產生漫反射,減小出射光效率,降低OLED的外量子效率。
OLED加電壓時,粗糙表面會影響OLED的內電場分布。ITO表面的尖峰將導致局部高電場,高電場將使激子解離成為正負載流子,
致使發光強度降低;而且高電場將加速有機材料的惡化,以至降低OLED的穩定性。
ITO膜是有機物膜進行淀積的基底, ITO膜的表面形態將影響有機膜的成膜的吸附性、內應力和結晶度。由于粗糙的表面將不利于有機分子之間內聚形成晶體,
因而粗糙的表面易于形成不定形結構的有機物薄膜。對于不定形結構的有機物來說,結晶有機物的出現將增加電子與晶格碰撞的可能性,這將降低OLED器件的發光效率和能量效率。
等離子體處理
等離子體的作用通常是改變表面粗糙度和提高功函數。研究發現，等離子作用對表面粗糙度的影響不大，只能使ITO的均方根粗糙度從1.8nm降到1.6nm，但對功函數的影響卻較大。
用等離子體處理提高功函數的方法也不盡相同。
氧等離子處理是通過補充ITO表面的氧空位來提高表面氧含量的。
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