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巨力光電（北京）科技有限公司
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更新時間：2022-09-25 14:02:43瀏覽次數(shù)：323次
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原位薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)(kSA MOS Film Stress Measurement System)，又名原位薄膜應(yīng)力計或原位薄膜應(yīng)力儀！
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采用非接觸激光MOS技術(shù)；不但可以精確的對樣品表面應(yīng)力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析；客戶可自行定義選擇使用任意一個或者一組激光點進行測量；并且這種設(shè)計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析；
典型用戶：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大學，中國計量等、半導(dǎo)體制和微電子造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等所采用；
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薄膜應(yīng)力儀（kSA MOS 薄膜應(yīng)力測量儀）：為獨立測量系統(tǒng)，同樣采用多光束MOS技術(shù)，詳細信息請與我們聯(lián)系。
設(shè)備名稱：
原位薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)，原位薄膜應(yīng)力測試儀，原位薄膜應(yīng)力計，薄膜應(yīng)力儀，kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System;
主要特點：
1.MOS 多光束傳感器技術(shù)；
2.單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統(tǒng)設(shè)計；
3.適合MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸収系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設(shè)備等；
4.薄膜應(yīng)力各向異性測試和分析功能；
5.生長速率和薄膜厚度測量；（選件）
6.光學常數(shù)n&k 測量；（選件）
7.多基片測量功能；（選件）
8.基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能；（選件）
9.實時光學反饋控制技術(shù)，系統(tǒng)安裝時可設(shè)置多個測試點；
10.專業(yè)設(shè)計免除了測量丌受真空系統(tǒng)振動影響；
測試功能：
1. 實時原位薄膜應(yīng)力測量
2.實時原位薄膜曲率測量
3.實時原位應(yīng)力*薄膜厚度曲線測量
4.實時原位薄膜生長全過程應(yīng)力監(jiān)控等
實際應(yīng)用：
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