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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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TTS-2000 EFEM（兩工位EFEM）

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間：2023-06-05 17:27:42瀏覽次數(shù)：385次

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產(chǎn)品簡介

一體化程度高，自動(dòng)化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動(dòng)框架，帶有隔離的風(fēng)扇 過濾系統(tǒng)，可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu)，從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運(yùn)行。

詳細(xì)介紹

EFEM是一個(gè)晶圓前端傳輸設(shè)備，是一個(gè)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng)，可以手動(dòng)或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機(jī)械手，通過雙軸復(fù)合運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)取放片，極大的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù)，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設(shè)備的安全。

參數(shù)：

項(xiàng) 目

Input信息

Wafer規(guī)格

材質(zhì)尺寸

200mm/300mm wafer

Alignment Mark

Notch/ Flat

厚度

標(biāo)準(zhǔn)wafer

溫度

≤200℃

與傳送片接觸處的材質(zhì)

陶瓷

片盒規(guī)格（類型、廠家、段數(shù)、段間距等）

Foup/Adaptor

AMHS（自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)）要求

OHT

搬送精度（Alignment精度）

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage數(shù)（LP數(shù)）

2

Load Lock

Stage數(shù)（LL）

2

位置（XYZ）

兩個(gè)LL

Wafer放置精度　X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整機(jī)規(guī)格

參照尺寸說明

Foot Print

Ｗ

≤2100

Ｄ

≤750

Ｈ

≤2500

重量

≤1200KG

整機(jī)設(shè)計(jì)參照標(biāo)準(zhǔn)

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

軟件界面設(shè)計(jì)參考標(biāo)準(zhǔn)

SEMI E30, E84



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