雙腕玻璃基板搬運機器人
負(fù)載：95KG
動態(tài)范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室

特點

l 大動作范圍：搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。

l 手臂采用連桿機構(gòu)實現(xiàn)高鋼性。

l 采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實現(xiàn)低放出氣體性能。

l 手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。

*1：動作節(jié)拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時，會影響動作節(jié)拍，請重新設(shè)定。
*2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動作重復(fù)定位精度。但有無工件時負(fù)載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。