半導體晶片搬運用機器人
負載：-
動態范圍：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬運、半導體

特點

l 大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達4套應用設備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。

l 高速搬運：300枚/小時

l 適用：300mm-450mm晶片搬運

*1：本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2：300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
*3：機械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
*4：根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應（有業績）。但是根據石英規格，本公司需要進行評價和調整。
*5：在0.3m/s的流量下，機械臂進行真空吸附