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反應氣體發生器

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更新時間：2022-12-15 19:50:46瀏覽次數：356次

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產品簡介

ASTRON®系列遠程等離子體源基于NF3等含氟氣體電離，產生活性氣體，廣泛地應用于CVD等工藝腔清洗，它具有功率大，效率高等特點

詳細介紹

ASTRON®系列遠程等離子體源基于NF3等含氟氣體電離，產生活性氣體，廣泛地應用于CVD等工藝腔清洗，它具有功率大，效率高等特點。產品有：


?ASTRON®Paragon AX7700 (6升)，新一代遠程等離子體源

?ASTRON®i AX7670 (3升)

?ASTRON®ex AX7685 (6升)

?ASTRON®hf-s AX7645 (15升，分體式)

?ASTRON®hf AX7640 (15升)

?ASTRON®hf+ AX7635 (22升)

?ASTRON®G7 AX7667 (30升)


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