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湖南弘林科學(xué)儀器有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號PDC200
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地長沙市
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更新時間:2023-05-25 12:10:34瀏覽次數(shù):211次
聯(lián)系我時,請告知來自 智慧城市網(wǎng)產(chǎn)品詳情高頻輸出300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型)電極尺寸250170mm(PDC200/210型)/410170mm(PDC510型)使用等離子的表面處理裝置
高頻輸出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型)
電極尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)多種用途。
等離子灰化機PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
等離子灰化機PDC200/210/510特征
● DP模式(PDC510標配·PDC200/210選配)
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡單的觸摸屏控制器
等離子灰化機PDC200/210/510內(nèi)槽
構(gòu)成圖
DP模式
PDC510標配)
PDC200/210選配)
RIE模式
等離子灰化機PDC200/210/510規(guī)格
型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等離子模式 | RIE(DP模式選配) | ||
電極構(gòu)造 | 平行平板(固定) | ||
高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
反應(yīng)室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O 2 ) | ||
填充氣體 | N 2 或干燥空氣 | ||
反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行選配 | 油泵(約345L/分)標配 | 油泵(約500L/分)標配 |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個 | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
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