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行業(yè)產(chǎn)品

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天津市科器高新技術(shù)有限公司


GSL-1100X-SPC16-3 3靶等離子濺射儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：路琦 張瑞 劉俊君查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-12-13 19:34:43瀏覽次數(shù)：376次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：路琦 張瑞 劉俊君

產(chǎn)品簡介

GSL1100X-SPC16-3等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機

詳細(xì)介紹

GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機。本機是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的，、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。它的特別之處是在一個真空室內(nèi)設(shè)計安裝了三個靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實驗電極制作。

技術(shù)參數(shù)

電源電壓

220V , 50/60 Hz

輸出功率
  • < 2000W (including pump)
  • 離子電流表：電流：50mA 定時器：最長時間900s

輸出電壓(DC)

1600V

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height


樣品載物臺
  • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
  • 濺射面積: 45 mm

配件
  • 120 L/m的雙旋片式機械真空泵，進行抽真空
  • 進氣口處安裝有儲氣球，防止泵油的回流，排氣口安裝有立式油污過濾器，可以過濾真空泵在工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，和保護環(huán)境，和人體健康
  • 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
  • 高純度金箔靶
  • 系統(tǒng)需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶，但我們不提供

可通入氣體
  • 多種 氣壓：-1600（-3000）DCV
  • 微型真空氣閥：可連接Φ3mm軟管





靶材

標(biāo)配靶材:

  • Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
  • Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

可選靶材

  • Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
  • Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
  • Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

設(shè)備特點
  • 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
  • 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
  • 特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
  • 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；
  • 根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

外形尺寸

400mm × 300mm × 400mm（L×W×H）

凈重

50 kg

質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期，終身維護

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