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四川英杰電氣股份有限公司
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RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發生技術為基礎，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控、數字調諧等功能。適用領域：光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。適用工藝：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。
● 半磚和機架式安裝方式
● 采用全數字控制，具有便捷和豐富的操作菜單
● 頻率調諧、脈沖和脈沖同步功能
● 具備CEX相位同步功能
● 完善保護功能
| 輸入 | 輸入電壓：AC220V±10% 3ΦAC380V±5%（特殊規格可定制） |
| 輸入頻率：47~63Hz | |
| 輸出 | 輸出頻率： 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz |
| 調諧范圍：±5% | |
| 輸出功率：1.5~5kW | |
| 輸出功率調節范圍：1~99% | |
| 輸出阻抗：50Ω+j0 | |
| 輸出接口：N型 | |
| 輸出模式：連續、脈沖 | |
| 脈沖頻率：100Hz~100kHz | |
| 占空比： 5~95% | |
| 性能指標 | 功率因數：0.98 |
| 頻率穩定精度：±0.005% | |
| 效率：75%（額定輸出時） | |
| 諧波：＜-45dBc | |
| 雜散：＜-50dBc | |
| 外部控制接口：模擬量、通訊、同步 | |
| 通信方式：標配RS485通訊接口；可選Ether CAT、工業以太網等 | |
| 注：產品不斷創新，性能繼續提升，本參數說明僅供參考。 | |
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