大氣機械手

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更新時間：2023-06-05 06:14:41瀏覽次數：537次

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上海新松機器人自動化有限公司

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產品簡介

晶圓搬運系列大氣機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責大氣端不同工位間晶圓傳送的關鍵自動化設備。本系列采用輕量、高剛性手臂、高精度、高性能的AC伺服電機和諧波減速器，可實現高速平穩的運行。

詳細介紹

晶圓搬運系列大氣機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責大氣端不同工位間晶圓傳送的關鍵自動化設備。本系列大氣機械手采用輕量、高剛性手臂、高精度、高性能的AC伺服電機和諧波減速器，可實現高速平穩的運行。該機器人滿足潔凈環境運動件的潤滑要求，保證機器人長期平穩運行，并對潔凈環境無影響。采用新松公司具有的網絡型機器人控制器進行控制，具有結構緊湊、組態靈活和控制性能高的特點，可適應不同的機器人本體，實現機器人控制器之間、機器人控制器同IC 裝備之間的通訊，便于組成不同的應用系統。目前新松公司已經具有單臂和雙臂兩種類型4個型號的，并且可以根據客戶的要求進行定制，已有用戶應用，并形成了系列化產品滿足不同用戶的要求。