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廣東瑞樂半導體科技有限公司
測量加溫設備的溫度均勻性
TC Wafer 選配軟件·概述配合 TC Wafer 溫度數據讀取適配的多功能儀器。內含軟件可以讀取 TCWafer 測溫數據并進行分析。·特點• 傳輸通道數量可定制• 優異的軟件功能, 可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況• 數據可儲存調用• 可提供各個量溫點的溫度曲線圖及溫度剖面圖。
TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布;同時,也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化,例如:升溫,降溫過程及延遲周期等!(溫度的均勻與否,良率)
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