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更新時間：2023-11-27 14:06:15瀏覽次數(shù)：211次
聯(lián)系我時，請告知來自 智慧城市網(wǎng)適合潔凈干燥制成的真空解決方案普發(fā)真空的多級羅茨泵廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域，提供潔凈干燥的真空環(huán)境例如，在例子加速器中，小型ACP羅茨泵能制造渦輪分子泵所需的前級真空
適合潔凈干燥制成的真空解決方案
普發(fā)真空的多級羅茨泵廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域，提供潔凈干燥的真空環(huán)境
例如，在例子加速器中，小型 ACP羅茨泵能制造渦輪分子泵所需的前級真空。具有抽速高、最終壓力低等特點的大型 ACP 120可用于冷凍干燥行業(yè)。A 100、A3P 或 A4 系列干泵則在半導(dǎo)體和真空鍍膜行業(yè)中被大量地用作工藝用泵。所有這些領(lǐng)域都有一個共同特點：它們均需要潔凈和干燥的真空環(huán)境。針對該要求，多級羅茨泵技術(shù)提供了的解決方案。無摩擦的真空泵運轉(zhuǎn)模式，使轉(zhuǎn)子和定子之間無需使用潤滑油和密封材料。從而避免碳?xì)錃怏w的回流。在泵的吸入腔，不會發(fā)生密封件磨損現(xiàn)象。這意味著泵內(nèi)無任何顆粒物，具有長期可靠而穩(wěn)定的優(yōu)異性能，這將極大降低產(chǎn)品的運營成本。
多級羅茨泵在清潔工藝中的使用范圍
ACP系列中的氣冷多級羅茨泵保養(yǎng)間隔時間長，其穩(wěn)定可靠的性能使其脫穎而出。它們可用于分析應(yīng)用行業(yè)、半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗的潔凈工藝中。A 100 L緊湊型羅茨泵因其較小的尺寸而可以輕松地集成到系統(tǒng)中。半導(dǎo)體和光伏生產(chǎn)系統(tǒng)的 Load locks 與傳送艙是該類泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域。帶有水冷裝置的羅茨多級泵 ACP 120系列真空泵是由結(jié)實的壓鑄金屬制成。正如羅茨真空泵組 ACG 600，它們經(jīng)常被用于抽速要求較高的研發(fā)、真空鍍膜和冶金行業(yè)。
腐蝕性的工藝不是問題
A3P系列多級羅茨泵是專為半導(dǎo)體和光伏生產(chǎn)的中型工藝應(yīng)用而開發(fā)的，在此類應(yīng)用中，必須傳輸少量的腐蝕性氣體或冷凝物。該泵具有緊湊、高能效的特點。低噪音和低震動是該系列產(chǎn)品的突出優(yōu)點。抽速可高達(dá) 1,800 m3/h 的 A4系列真空泵，是由抗腐蝕材料制成的。良好的媒介耐受性及高氣流量，使這些多級羅茨泵成為半導(dǎo)體行業(yè) CVD 工藝應(yīng)用的解決方案。
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