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中科艾科米(北京)科技有限公司
主要特點/MAINFEATURE主要特點/MAINFEATURE●超高真空兼容●適用于中等蒸氣壓材料的蒸鍍●獨立的雙溫區控溫
主要特點 / MAIN FEATURE
主要特點 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●適用于中等蒸氣壓材料的蒸鍍
●獨立的雙溫區控溫,每個溫區單獨可調,有效防止材料在口
●優異的溫度穩定性,控溫精度±0.1℃
●有效提高UHV系統的使用壽命
產品應用 / APPLICATIONS
● 表面科學;超薄膜層;多分子層
● 摻雜;樣品制備;密接金屬化
產品應用 / APPLICATIONS
● 表面科學;超薄膜層;多分子層
● 摻雜;樣品制備;密接金屬化
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 35:DN40CF ④ M: 中溫(400-1400℃) ⑥ 可選 M:手動,P:氣動
⑧ C: Type C;K:Type K ⑨ DF:雙燈絲
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 35:DN40CF ④ M: 中溫(400-1400℃) ⑥ 可選 M:手動,P:氣動
⑧ C: Type C;K:Type K ⑨ DF:雙燈絲
技術參數 / TECHNICAL DATA
技術參數 / TECHNICAL DATA
安裝法蘭 | DN40CF (O.D. 2.75”) |
腔內長度 | 標準長度210mm 210mm-400mm可選 |
腔內直徑 | 36.5mm |
工作溫度 | 400-1400℃ |
加熱方式 | 鉭絲加熱 |
溫度穩定性 | ±0.1℃ |
溫度測量 | K型熱偶(400-1100℃) C型熱偶(400-1400℃) |
除氣溫度 | 1450℃ |
烘烤溫度 | 200℃ |
源數量 | 1 |
坩堝材料 | 氧化鋁,熱解氮化硼,石英,可定制其他材料 |
坩堝容積 | 10cc(其他尺寸可定制) |
冷卻方式 | 一體式分段水冷 |
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