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中科艾科米（北京）科技有限公司
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主要特點 / MAIN FEATURE
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● 超高真空兼容
● 高效的水冷設計
● 低溫下精確控溫
● 坩堝容積可達155cc
● 超高真空兼容
● 高效的水冷設計
● 低溫下精確控溫
● 坩堝容積可達155cc
產品應用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科學，薄膜生長，樣品制備以及II-VI半導體薄膜研究和太陽能領域
產品應用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科學，薄膜生長，樣品制備以及II-VI半導體薄膜研究和太陽能領域
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可選 H：≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可選 P: 氣動, M: 手動 ⑧可選 K: type K, C: type C
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可選 H：≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可選 P: 氣動, M: 手動
⑧可選 K: type K, C: type C
技術參數 / TECHNICAL DATA
技術參數 / TECHNICAL DATA
| 安裝法蘭 | DN63CF (O.D. 4.5'' )，DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
| 腔內長度 | 250~580mm 可選 |
| 腔內直徑 | 61mm，95mm |
| 工作溫度 | ≤400℃ |
| 加熱方式 | 鉭絲加熱 |
| 溫度穩定性 | ±0.1℃ |
| 溫度測量 | K型熱偶 |
| 烘烤溫度 | 200℃ |
| 源數量 | 1 |
| 坩堝材料 | 石英，氧化鋁，熱解氮化硼，可定制其他材料 |
| 坩堝容積 | 60cc，155cc |
| 冷卻方式 | 一體式水冷 |
| 擋板 | 無 |
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