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中科艾科米(北京)科技有限公司
主要特點/MAINFEATURE主要特點/MAINFEATURE●超高真空兼容●優異的溫度和束流穩定性●獨立式的水冷結構
主要特點 / MAIN FEATURE
主要特點 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 優異的溫度和束流穩定性
● 獨立式的水冷結構,源與水冷可單獨拆卸
● 適用于腐蝕材料的蒸發
● 低溫區和裂解區之間具有良好的隔熱性
● 坩堝容積可達1000cc
●超高真空兼容
●優異的溫度和束流穩定性
●獨立式的水冷結構,源與水冷可單獨拆卸
●適用于腐蝕材料的蒸發
●低溫區和裂解區之間具有良好的隔熱性
●坩堝容積可達1000cc
產品應用 / APPLICATIONS
● MBE,表面科學,薄膜生長,樣品制備以及II-VI半導體薄膜研究和太陽能領域
● 適用于蒸發:硫、硒、砷等材料
產品應用 / APPLICATIONS
● MBE,表面科學,薄膜生長,樣品制備以及II-VI半導體薄膜研究和太陽能領域
● 適用于蒸發:硫、硒、砷等材料
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 100:DN100CF,63:DN63CF,35:DN40CF ⑤可選 P:氣動,M:手動
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 100:DN100CF,63:DN63CF,35:DN40CF
⑤可選 P:氣動,M:手動
技術參數 / TECHNICAL DATA
技術參數 / TECHNICAL DATA
安裝法蘭 | DN40CF (O.D.2.75''), DN63CF (O.D. 4.5'' ), DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
腔內長度 | 200~500mm可選 |
腔內直徑 | 36mm,56mm,94mm |
工作溫度 | 高溫區:300~800℃ |
低溫區:100~400℃ | |
加熱方式 | 低溫坩堝區、裂解區:鉭絲加熱 |
溫度穩定性 | ±0.1℃ |
溫度測量 | K型熱偶 |
烘烤溫度 | 200℃ |
源數量 | 1 |
坩堝材料 | 石英,熱解氮化硼,氧化鋁,可定制其他材料 |
坩堝容積 | 低溫區容積:1000cc |
冷卻方式 | 低溫坩堝區和裂解區獨立式水冷壁,與源爐分開拆卸 |
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