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蘇州同創電子有限公司
SZT-1型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置
SZT-1型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻(方塊電阻),換上特制的四探針測試夾,還可以對金屬導體的低中值電阻進行測量。此外,探針經過特殊加工后,還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導體材料、器件廠、高等院校化學物理系、科研單位,對半導體材料的電阻性能測試。
本儀器測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針,定位準確,游移率小,使用壽命長。
技術參數:
1. 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
電阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω
導電類型鑒別:電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2. 可測半導體材料尺寸
直徑:φ15~100 mm
長度:≤400mm
3. 測量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:31/2,數顯,極性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續可調。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數±2個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
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