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電子薄膜應力分布測試儀

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參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號HD-65

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

聯系方式：張浩查看聯系方式

更新時間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數：1210次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：2829條

所在地區：北京北京市

聯系人：張浩 （經理）

產品簡介

電子薄膜應力分布測試儀產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、基片曲率

半徑測量測試。該儀器總測量點數多, 能給出全場面型分布結果, 適合于微電子生產線上產品質量的快速檢驗和微電子生產工藝研究

詳細介紹

電子薄膜應力分布測試儀
電子薄膜應力分布測試儀產品概述詳細 
產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數多, 能給出全場面型分布結果, 適合于微電子生產線上產品質量的快速檢驗和微電子生產工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置, 及時淘汰早期失效產品。
產品特點

*的錯位相移技術
計算機自動條紋處理
測試過程全自動
*的曲面補償測試原理

主要技術指標

zui大樣品尺寸
≤100mm （4英寸）
曲率范圍
|R|≥5米
測試精度
5%
單片測量時間
3分鐘/片
結果類型
面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格
圖形顯示功能
三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源
AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大功耗
100W
外型尺寸（L×W×H）
285mm×680mm×450mm
重量
36kg

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