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四川英杰電氣股份有限公司
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可適配于RLS系列射頻電源使用，廣泛應用于等離子刻蝕、鍍膜、等離子清洗、等離子去膠等工藝。單獨使用時，可與其他廠家射頻電源配套使用。
● 全數字控制，匹配精度高，匹配時間短
● 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長
● 結構緊湊，體積小，安裝便捷
● 超寬匹配范圍，可定制適配任意負載
● 具有手動/自動匹配功能
● 具有保持和預置設定功能
● 具有通訊功能，可獨立連接上位機實時顯示負載狀態
● 可定制化輸出接口
| 技術指標 | 控制電壓：AC220V±10% |
| 傳輸功率：0.5~5kW | |
| 頻率：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | |
| 匹配時間：端對端＜5s，預設點到匹配點＜0.5~3s | |
| 駐波：＜1.2 | |
| 阻抗實部：5~200Ω | |
| 阻抗虛部：+200~-200j | |
| 射頻輸出電壓：4000Vpeak | |
| 射頻輸出電流：25~40Arms | |
| 輸入接口：N型 | |
| 輸出接口：銅排或L29 | |
| 注：產品不斷創新，性能繼續提升，本參數說明僅供參考。 | |
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