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鳴富真空科技（上海）有限公司
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ZYFB-3600渦輪分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子運動從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩定
| ZYFB-3600渦輪分子泵技術參數表 | ||
| 型號 | ZYFB-3600 | |
| 進氣口法蘭 | 400 ISO-K | |
| 排氣口法蘭 | 100 ISO-K | |
| 抽氣速率(L/S)(對空氣) | 3600 | |
| 壓縮比 | N2 | >108 |
| H2 | >6X102 | |
| 極限壓強(Pa) | <2×10-6 | |
| 額定轉速(rpm) | 12600 | |
| 使用軸承 | 進口陶瓷軸承 | |
| 振動值 | ≤0.15μm | |
| 啟動時間(min) | <10 | |
| 停機時間(min) | <20 | |
| 建議采用的前級泵（L／S） | 30 | |
| 冷卻方式 | 水冷 | |
| 冷卻水溫度（℃） | ≤20 | |
| 冷卻水流量(L/min) | 1 | |
| 泵體烘烤溫度（℃） | <80 | |
| 環境溫度（℃） | 5-40 | |
| 安裝方向 | 垂直±5° | |
| 泵重量(kg) | ≈100 | |
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