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鳴富真空科技（上海）有限公司
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ZY系列復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了復合分子泵的應用范圍
| 技術數據 | ZYFB-1200復合分子泵 | ||
| 高真空法蘭(mm) | 200 CF | 200 ISO-K | |
| 前級管道法蘭(mm) | 40 KF | ||
| 抽氣速(L/S)(對空氣) | 1200 | ||
| 壓縮比 | N2 | >109 | |
| H2 | >1X104 | ||
| 極限壓強(Pa) | <8×10-8 | <5×10-7 | |
| 電機轉數(rpm) | 24000 | ||
| 振動值 | ≤0.1μm | ||
| 啟動時間(min) | <5 | ||
| 建議采用的前級泵（L／S） | 8-15 | ||
| 冷卻方式 | 水冷(風冷) | ||
| 水冷泵冷卻水溫度（℃） | ≤20 | ||
| 風冷泵環境溫度（℃） | ≤35 | ||
| 水冷冷卻水流量(L/min) | 1 | ||
| 泵體烘烤溫度（℃） | <120 | ||
| 加熱器功率(w) | <300 | ||
| 加熱器輸入電壓(v) | AC220 | ||
| 安裝方向 | 垂直±5° | ||
| 泵重量(kg) | ≈29 | ||
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