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行業(yè)產(chǎn)品

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SORTER SYSTEM傳輸平臺(tái)系統(tǒng)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：1527次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智慧城市網(wǎng)

經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SORTER SYSTEM傳輸平臺(tái)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)300片/小時(shí)產(chǎn)率的高性能晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器

詳細(xì)介紹

SORTER SYSTEM傳輸平臺(tái)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)300片/小時(shí)產(chǎn)率的高性能晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器

SORTER SYSTEM傳輸平臺(tái)系統(tǒng)

  • 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
  • Aligner具有Buffer功能，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的更換動(dòng)作，提高了設(shè)備的Throughput
  • 配備ID Reader，能夠讀取晶圓的ID信息（晶圓正反面對(duì)應(yīng)為選配）
  • 上述標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格之外，以下規(guī)格的產(chǎn)品也可以定制
        1. 4 FOUP對(duì)向擺放（Throughput為400片/h）
        2. 4 FOUP的inline類(lèi)型（Throughput為600片/h）

    應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

    半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)

    規(guī)格

    對(duì)應(yīng)片盒300 mm FOUP（25片）
    SEMI E47.1，E62標(biāo)準(zhǔn)品
    對(duì)應(yīng)晶圓300 mm 硅片（厚度775 µm）
    Throughput*300片/h
    潔凈度ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（FFU使用）
    外形尺寸*W1250xD2500xH1900
    重量*大約 800 kg
    廠(chǎng)務(wù)電源：AC200V±10% 2kVA
    干燥空氣：0.5MPa±10%
    真空：優(yōu)于-53 kPa

 


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